Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Természettudományi Kar |
Tantárgy Adatlap |
Tantárgy kód | BMETE125300 |
Tantárgy azonosító adatok | |||||||||
1. | A tárgy címe | Vékonyrétegek technológiája | |||||||
2. | A tárgy angol címe | Technology of thin films |
3. | Heti óraszámok (ea + gy + lab) és a félévvégi követelmény típusa | 2 | + | 0 | + | 2 | v | Kredit | 4 |
4. | Ajánlott/kötelező előtanulmányi rend | ||||||||
vagy | Tantárgy kód 1 | Rövid cím 1 | Tantárgy kód 2 | Rövid cím 2 | Tantárgy kód 3 | Rövid cím 3 | |||
4.1 | |||||||||
4.2 | |||||||||
4.3 | |||||||||
5. | Kizáró tantárgyak | ||||||||
Vékonyréteg technológia (BMETE125190) |
|||||||||
6. | A tantárgy felelős tanszéke | Atomfizika Tanszék | |||||||
7. | A tantárgy felelős oktatója | Deák Péter | beosztása | egyetemi tanár |
Akkreditációs adatok | ||||
8. | Akkreditációra benyújtás időpontja | 2004.05.05. | Akkreditációs bizottság döntési időpontja | 2004.05.18. |
Tematika | |||||||||
9. | A tantárgy az alábbi témakörök ismeretére épít | ||||||||
Matematika, Fizika, Anyagtudomány |
|||||||||
10. | A tantárgy szerepe a képzés céljának megvalósításában (szak, kötelező, kötelezően választható, szabadon választható) | ||||||||
Mérnökfizikus képzés anyagtudományi moduljában kötelezően választható tárgy |
|||||||||
11. | A tárgy részletes tematikája | ||||||||
Vékonyrétegek fogalma. Vékonyrétegek előállítása additív és szubtraktív eljárásokkal. Vákuumtechnológia berendezések felépítése. Vákuumszivattyúk, vákuummérők. Vékonyrétegek előállítása vákuumpárologtatással. A vákuumpárologtatáshoz használt gőzforrások fajtái és
működési elvük. Elektronsugaras párologtató források. A párologtató források iránykarakterisztikái. Vékonyré tegek előállítása porlasztással. A magnetronos és a nagyfrekvenciás porlasztás elve.A párologtató forrás és a hordozó közötti anyagáramlás modelljei. A vákuumel járásokkal készített vékonyrétegek kondenzációs folyamata és fizikája. Vékonyrétegek előállítása kémiai lecsapatással és oxidációval (anódos és termikus).
Különböző szerkezetű rétegek: amorf, polikristályos, epitaxiás rétegek. Rétegek villamos tulajdonságai. Vékony fémrétegek v ezetési
mechanizmusa. Vezető- és ellenállásrétegek előállítása, tulajdonságai és mikroelektronikai alkalmazásai. Félvezető és szigetelő vékonyrétegek villamos tulajdonságai és alkalmazásai.Szupravezető rétegek előállítása és tulajdonságai. Vékonyrétegek optikai tulajdonságai , reflexió és transzmisszió vékony fém és nem fém rétegeken. Rétegrendszerek optikai tulajdonságai. Optikai alkalmazások: reflexiócsökkentő, -növelő
rétegek, adott spektrális transzmissziójú, reflexiójú rétegek, interferencia szűrők. Vékonyrétegek vizsgálati eljárásainak ös szefoglalása: vastagság, optikai állandók meghatározása, fajlagos ellenállás mérése, szerkezeti sajátságok meghatározása.
A laboratóriumi gyakorlatok részletes tematikája :1.Vékonyrétegek készítése vákuumpárologtatással 2.Gőzforrások iránykarakter isztikájának vizsgálata 3.Vékonyrétegek mintázatkészítése lézeres direktírással 4.Vékony fémbevonatok készítése nedves kémiai eljárásokkal 5. Maszkolási
technikák fotoszenzitív rétegek alkalmazásával 6.Vékonyréteg technológia ipari alkalmazásának tanulmányozása gyárlátogatáson (pl. a Samsung
gödi üzemében) 7.Polimer vékonyrétegek felvitele |
|||||||||
12. | Követelmények, az osztályzat (aláírás) kialakításának módja | ||||||||
szorgalmi időszakban |
szakirodalmi összefoglaló készítése és beszámoló tartása. A felkészülés szintjét a gyakorlatokon ellenőrizzük | vizsga- időszakban |
Írásbeli vizsga két kérdéssel. Egy osztályzatnyi javításra további egy kérdéssel szóbeli vizsgán adunk lehetőséget | ||||||
13. | Pótlási lehetőségek | ||||||||
a félév utolsó előtti hetén lehetőséget biztosítunk. |
|||||||||
14. | Konzultációs lehetőségek | ||||||||
Az előadási és laboratóriumi órákon, óraközi szünetekben. |
|||||||||
15. | Jegyzet, tankönyv, felhasználható irodalom | ||||||||
Roth, A: Vacuum technology, North-Holland Publishing Company, 1976. |
|||||||||
Szilágyi Miklós (szerkesztő).: Fizikai technológiák. BME jegyzet, 1986. |
|||||||||
Nussbaum A.; Phillips R.: Modern optika 8. fej. Műszaki Kiadó, 1982. |
|||||||||
16. | A tantárgy elvégzéséhez átlagosan szükséges tanulmányi munka mennyisége órákban (a teljes szemeszterre számítva) | ||||||||
16.1 | Kontakt óra | 56 |
|||||||
16.2 | Félévközi felkészülés órákra | 14 |
|||||||
16.3 | Felkészülés zárthelyire | 0 |
|||||||
16.4 | Zárthelyik megírása | 0 |
|||||||
16.5 | Házi feladat elkészítése | 20 |
|||||||
16.6 | Kijelölt írásos tananyag elsajátítása (beszámoló) | 0 |
|||||||
16.7 | Egyéb elfoglaltság | 0 |
|||||||
16.8 | Vizsgafelkészülés | 30 |
|||||||
16.9 | Összesen | 120 |
|||||||
17. | Ellenőrző adat | Kredit * 30 | 120 |
A tárgy tematikáját kidolgozta | |||||||||
18. | Név | beosztás | Munkahely (tanszék, kutatóintézet, stb.) | ||||||
Illyefalvi-Vitéz Zsolt |
egyetemi docens |
Elektronikai Technológia Tsz |
|||||||
Hárs György |
egyetemi docens |
Atomfizika Tanszék |
|||||||
Deák Péter |
egyetemi tanár |
Atomfizika Tanszék |
A tanszékvezető | |||||||||
19. | Neve | aláírása | |||||||
Richter Péter egyetemi tanár |