Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
Természettudományi Kar		 Tantárgy Adatlap
Tantárgy kód BMETE12AF08
Tantárgy azonosító adatok
1. A tárgy címe Mikro- és nanotechnológiák
2. A tárgy angol címe Microtechnology and Nanotechnology
3. Heti óraszámok (ea + gy + lab) és a félévvégi követelmény típusa 2 + 0 + 0 f Kredit 2
4. Ajánlott/kötelező előtanulmányi rend
vagy Tantárgy kód 1 Rövid cím 1 Tantárgy kód 2 Rövid cím 2 Tantárgy kód 3 Rövid cím 3
4.1 BMETE13AF04 KísérletiFizika3 BMETE11AF05 SzilfizAlapjai
4.2
4.3
5. Kizáró tantárgyak
6. A tantárgy felelős tanszéke Atomfizika Tanszék
7. A tantárgy felelős oktatója Dr. Kiss Gábor beosztása egyetemi docens
Akkreditációs adatok
8. Akkreditációra benyújtás időpontja 2005.11.01. Akkreditációs bizottság döntési időpontja 2007.03.27.
Tematika
9. A tantárgy az alábbi témakörök ismeretére épít
Kísérleti fizika
10. A tantárgy szerepe a képzés céljának megvalósításában (szak, kötelező, kötelezően választható, szabadon választható)
TTK Fizika (BSc) képzés Alkalmazott fizika szakirányának kötelezően választható tárgya
11. A tárgy részletes tematikája
Mikrotechnológia, nanotechnológia és molekuláris nanotechnológia definíciója, összehasonlítása, egymáshoz való viszonya. A technológi a feltételei. Mikro- és nanofizika. Vékonyrétegek leválasztására alkalmas módszerek: fizikai rétegleválasztási módszerek (vákuumpár ologtatás, lézerablációs párologtatás, molekulasugaras epitaxiás rétegnövesztés, porlasztás), kémiai rétegleválasztási módszerek (kémiai gőzfázisú leválasztás). Adalékolás (diffúzió, ionimplantáció). Litográfia (foto, röntgensugaras, elektronsugaras, ionsugaras). Rétegeltávolítási technológiák: nedves "kémiai" marás, száraz marás (plazma, ionsugaras). Rétegminősítési eljárások: röntgend iffrakció, transzmissziós elektronmikroszkópia, pásztázó elektronmikroszkópia, szekunder ion tömegspektrometria, röntgen fotoelektron -spektroszkópia, Auger elektronspektroszkópia, pásztázó alagútmikroszkópia, atomerő mikroszkópia. Hagyományos elektronikai eszközök: bipoláris tranzisztor, térvezérlésű tranzisztor. Vastagréteg technológia: szitanyomtatás, beégetés, vastagréteg paszták. Nanométeres eszközök: egy elektronnal működő eszközök, rezonáns alagúteffektuson alapuló eszközök, mikro-elektromechanikai rendszerek, szenzorok, képérzékelők, kijelzők. Molekuláris nanotechnológia.
12. Követelmények, az osztályzat (aláírás) kialakításának módja
szorgalmi
időszakban		 1 ZH vizsga-
időszakban
13. Pótlási lehetőségek
1 pót ZH
14. Konzultációs lehetőségek
Szükség esetén a hallgatókkal történő megegyezés alapján.
15. Jegyzet, tankönyv, felhasználható irodalom
Mojzes I.: Mikroelektronika és elektronikai technológia. Műszaki Könyvkiadó, 1995.
C.Y.Chang and S.M.Sze (Ed.): VLSI Techjnology, McGrew Hill, 1996.
R. Waser (Ed.): Nanoelectronics and ionformation technology, Wiley-VCH, 2003.
16. A tantárgy elvégzéséhez átlagosan szükséges tanulmányi munka mennyisége órákban (a teljes szemeszterre számítva)
16.1 Kontakt óra
28
16.2 Félévközi felkészülés órákra
14
16.3 Felkészülés zárthelyire
10
16.4 Zárthelyik megírása
0
16.5 Házi feladat elkészítése
0
16.6 Kijelölt írásos tananyag elsajátítása (beszámoló)
0
16.7 Egyéb elfoglaltság
0
16.8 Vizsgafelkészülés
0
16.9 Összesen
52
17. Ellenőrző adat Kredit * 30
60
A tárgy tematikáját kidolgozta
18. Név beosztás Munkahely (tanszék, kutatóintézet, stb.)
Dr. Kiss Gábor
egyetemi docens
Atomfizika Tanszék
A tanszékvezető
19. Neve aláírása
Dr. Richter Péter