Fotolumineszencia alapú képalkotási méréstechnika fejlesztése újszerű félvezetőeszközök karakterizálására

Nyomtatóbarát változatNyomtatóbarát változat
Cím angolul: 
Photoluminesence based imaging metrology development for novel semiconductor device characterisation
Típus: 
Fizikus MSc diplomamunka téma - nanotechnológia és anyagtudomány
Fizikus MSc diplomamunka téma - optika és fotonika
Fizikus MSc diplomamunka téma - kutatófizikus
Félév: 
2022/23/2.
Témavezető: 
Név: 
Dzsaber Sami
Email cím: 
sami.dzsaber@semilab.hu
Intézet/Tanszék/Cégnév: 
Semilab Zrt.
Beosztás: 
applikációs termékfejlesztő
Konzulens: 
Név: 
Bordács Sándor
Email cím: 
bordacs.sandor@ttk.bme.hu
Intézet/Tanszék: 
Fizika Tanszék
Beosztás: 
egyetemi docens
Hallgató: 
Név: 
Sájerman Klára
Képzés: 
Fizikus MSc - nanotechnológia és anyagtudomány
Elvárások: 

Alapvető ismeretek a félvezetőfizika, optika és méréstechnika területén. Érdeklődés az optikai képalkotás, -méréstechnika és -műszerfejlesztés iránt. Angol nyelvtudás, önálló feladat megoldás és motiváció.

Leírás: 
A direkt sávú, nagy tiltott sávval rendelkező félvezetők előretörése egy paradigma váltáshoz vezetett a modern, az elektromágneses spektrum kék és UV tartományában üzemelő, szilárdtest alapú opto-elektronikai eszközök tervezésében és készítésében (2014 Nobel díj). Ezen félvezető eszközök korszerű gyártási technológiáit, a mindenkor csökkenő karakterisztikus eszköz méret követelménye határozza meg, mely a szilícium alapú félvezetők területén megfigyelhető „Moore törvény”-hez hasonlatos. Ezen szempontokat figyelembevéve, a megbízható, gyors és pontos termék karakterizáló méréstechnikák szerepe továbbra is kulcsfontosságú. Azonban az igény minden félvezető eszköz karakterizálására a teljes hordozó szubsztráton és egyedi eszköz pontossággal jelentős kihívásokat támaszt miden méréstechnológiával szemben a precizitást és sebességet illetően, miközben egyértelműen a kontaktus mentes mérési eljárásokat helyezi előtérbe. Ezen feltételeknek eleget tevő méréstechnikák közül mindenképp kiemelkedő a fotolumineszcencia alapú optikai képalkotás, ahol a hordozó szubsztrát teljesen lepásztázható optikai gerjesztéssel, miközben az energia-integrált fotolumineszcens válasz nagy térbeli felbontással detektálható.
 
A Semilab Zrt. aktívan szerepet vállal ilyen metrológiák fejlesztésében. A hallgató feladata a hozzájárulás fotolumineszcencia alapú optikai képalkotó eszköz fejlesztéséhez, meglévő eszközök, mérési eljárások és adat kiértékelési rutinok tovább optimalizálása.
Titkosítas: 
Hozzáférés nincs korlátozva