A tantárgy az alábbi témakörök ismeretére épít:
A tantárgy szerepe a képzés céljának megvalósításában:
TTK Fizika BSc AF és MSc Nanotech.-anyagtud. spec. kötelezően választható tárgya
A tantárgy részletes tematikája magyarul és angolul:
Mikrotechnológia, nanotechnológia és molekuláris nanotechnológia definíciója, összehasonlítása, egymáshoz való viszonya. A technológia feltételei.Mikro- és nanofizika. Vékonyrétegek leválasztására alkalmas módszerek: fizikai rétegleválasztási módszerek (vákuumpárologtatás, lézerablációs párologtatás, molekulasugaras epitaxiás rétegnövesztés, porlasztás), kémiai rétegleválasztási módszerek (kémiai gőzfázisú leválasztás).Adalékolás (diffúzió, ionimplantáció). Litográfia (foto, röntgensugaras, elektronsugaras, ionsugaras).Rétegeltávolítási technológiák: nedves "kémiai" marás, száraz marás (plazma, ionsugaras). Rétegminősítési eljárások: röntgendiffrakció, transzmissziós elektronmikroszkópia, pásztázó elektronmikroszkópia, szekunder ion tömegspektrometria, röntgen fotoelektron-spektroszkópia, Auger elektronspektroszkópia, pásztázó alagútmikroszkópia, atomerő mikroszkópia.Vastagréteg technológia: szitanyomtatás, beégetés, vastagréteg paszták.Nanométeres eszközök: egy elektronnal működő eszközök, rezonáns alagúteffektuson alapuló eszközök, mikro-elektromechanikai rendszerek, szenzorok. Molekuláris nanotechnológia.
Követelmények szorgalmi időszakban:
Követelmények vizsgaidőszakban:
Konzultációs lehetőségek:
Szükség esetén a hallgatókkal történő megegyezés alapján.
Jegyzet, tankönyv, felhasználható irodalom:
Mojzes I.: Mikroelektronika és technológia. Műegyetemi Kiadó, 2005.
R. Waser (Ed.): Nanoelectronics and ionformation technology, Wiley-VCH, 2003.
Nyomtatóbarát változat
