A tantárgy az alábbi témakörök ismeretére épít:
Atomfizika, Kvantummechanika, Szilárdtestfizika
A tantárgy szerepe a képzés céljának megvalósításában:
TTK Fizikus MSc képzés Nanotechnológia-anyagtudomány specializáció kötelezően választható tárgya
A tantárgy részletes tematikája magyarul és angolul:
A tárgy célja a nanotechnológia területén használt előállítási technológiák és vizsgálati módszerek elvi és gyakorlati szintű, az alkalmazási lehetőségekre is kiterjedő megismertetése.Az egyes laboratóiumi gyakorlatok során ismertetésre kerül egy-egy mérési módszer elve, a mintaelőkészítés és -mérés technikai feltételei, valamint a mérésből nyerhető információk és azok kiértékelése. Bemutatásra kerülnek gyakorlati mérési példák és az azokból nyerhető technológiai információk. A laboratóriumi gyakorlat során a hallgatók az egyes részfeladatokat a lehetőségekhez mérten önállóan végzik.A mérések esetenként egy miniprojekt keretében csatlakozhatnak egy technológiai laboratóriumi gyakorlathoz, így a hallgató a mintakészítéstől a mérés kiértékelésig átfogó képet kaphat a nanotechnológia egy-egy szakterületéről. A nanotechnológia laboratórium meghatározó részét képezi egy több napos projektmunka, melynek keretében a hallgatók nanoáramköröket gyártanak modern litográfiás módszerekkel.A kiválasztott módszerek mindegyikéről az adott témával foglalkozó elismert szakember tart laborgyakorlatot Budapesten, az elérhető legújabb berendezések mellett.Tervezett témakörök: Tisztatér bemutatása, alapstruktúra készítése fotolitográfiával, térvezérelt tranzisztor készítése félvezető nanovezetékből elektronsugár-litográfiával, kontaktusok párologtatása UHV rétegleválasztó rendszerrel,az elkészült áramkör karakterizálása elektronmikroszkóppal, atomerő mikroszkóppal és elektromos transzport mérésekkel. Exfoliált grafén elhelyezése Si hordozón, megtekintés optikai mikroszkóppal, rétegszám vizsgálata Raman-mikroszkóppal, grafén minta vizsgálata AFM-el és STM-el. Vizsgálatok transzmissziós elektronmikroszkóppal.Az egyes laboratóriumi gyakorlatok időtartama 6 óra, minden második héten.
Követelmények szorgalmi időszakban:
Laborgyakorlaton mutatott teljesítmény és a benyújtott laborjegyzőkönyvek alapján alakul ki az osztályzat
Követelmények vizsgaidőszakban:
Konzultációs lehetőségek:
oktatóval egyeztetve igény szerint
Jegyzet, tankönyv, felhasználható irodalom:
Az egyes laboratóriumi gyakorlatvezetők által mellékelt segédletek.