Mikrotechnológia, nanotechnológia és molekuláris nanotechnológia definíciója, összehasonlítása, egymáshoz való viszonya. A technológi a feltételei.
Mikro- és nanofizika. Vékonyrétegek leválasztására alkalmas módszerek: fizikai rétegleválasztási módszerek (vákuumpár ologtatás, lézerablációs párologtatás, molekulasugaras epitaxiás rétegnövesztés, porlasztás), kémiai rétegleválasztási módszerek (kémiai gőzfázisú leválasztás). Adalékolás (diffúzió, ionimplantáció). Litográfia (foto, röntgensugaras, elektronsugaras, ionsugaras).
Rétegeltávolítási technológiák: nedves "kémiai" marás, száraz marás (plazma, ionsugaras). Rétegminősítési eljárások: röntgend iffrakció,
transzmissziós elektronmikroszkópia, pásztázó elektronmikroszkópia, szekunder ion tömegspektrometria, röntgen fotoelektron -spektroszkópia, Auger elektronspektroszkópia, pásztázó alagútmikroszkópia, atomerő mikroszkópia.
Hagyományos elektronikai eszközök: bipoláris tranzisztor, térvezérlésű tranzisztor. Vastagréteg technológia: szitanyomtatás, beégetés, vastagréteg paszták.
Nanométeres eszközök: egy elektronnal működő eszközök, rezonáns alagúteffektuson alapuló eszközök, mikro-elektromechanikai rendszerek, szenzorok, képérzékelők, kijelzők. Molekuláris nanotechnológia.
BMETE12AF08
Akkreditációra benyújtás időpontja:
2005.11.01.
Akkreditációs bizottság döntési időpontja:
2007.03.27.
A tantárgy az alábbi témakörök ismeretére épít:
Kísérleti fizika
A tantárgy szerepe a képzés céljának megvalósításában:
TTK Fizika (BSc) képzés Alkalmazott fizika szakirányának kötelezően választható tárgya
A tantárgy részletes tematikája magyarul és angolul:
Követelmények szorgalmi időszakban:
1 ZH
Pótlási lehetőségek:
1 pót ZH
Konzultációs lehetőségek:
Szükség esetén a hallgatókkal történő megegyezés alapján.
Jegyzet, tankönyv, felhasználható irodalom:
Mojzes I.: Mikroelektronika és elektronikai technológia. Műszaki Könyvkiadó, 1995.
C.Y.Chang and S.M.Sze (Ed.): VLSI Techjnology, McGrew Hill, 1996.
R. Waser (Ed.): Nanoelectronics and ionformation technology, Wiley-VCH, 2003.
Kontakt óra:
28
Félévközi felkészülés órákra:
14
Felkészülés zárthelyire:
10
Zárthelyik megírása:
0
Házi feladat elkészítése:
0
Kijelölt írásos tananyag elsajátítása (beszámoló):
0
Egyéb elfoglaltság:
0
Vizsgafelkészülés:
0
Összesen:
52
Ellenőrző adat:
60
Név:
Dr. Kiss Gábor
Beosztás:
egyetemi docens
Munkahely (tanszék, kutatóintézet, stb.):
Atomfizika Tanszék
A tanszékvezető neve:
Dr. Richter Péter
A tantárgy adatlapja PDF-ben: