BMETE12AF08

Nyomtatóbarát változatNyomtatóbarát változat
Tantárgy azonosító adatok
A tárgy címe: 
Mikro- és nanotechnológiák
A tárgy angol címe: 
Microtechnology and Nanotechnology
A tárgy rövid címe: 
MikroNanotech
2
0
0
f
Kredit: 
2
Ajánlott/Kötelező előtanulmányi rend
1.Követelménytárgy kódja: 
BMETE13AF04
1.Követelménytárgy (rövidített) címe: 
KísérletiFizika3
2.Követelménytárgy kódja: 
BMETE11AF05
2.Követelménytárgy (rövidített) címe: 
SzilfizAlapjai
A tantárgy felelős tanszéke: 
Atomfizika Tanszék
A tantárgy felelős oktatója: 
Dr. Kiss Gábor
A tantárgy felelős oktatójának beosztása: 
egyetemi docens
Akkreditációs adatok
Akkreditációra benyújtás időpontja: 
2005.11.01.
Akkreditációs bizottság döntési időpontja: 
2007.03.27.
Tematika
A tantárgy az alábbi témakörök ismeretére épít: 
Kísérleti fizika
A tantárgy szerepe a képzés céljának megvalósításában: 
TTK Fizika (BSc) képzés Alkalmazott fizika szakirányának kötelezően választható tárgya
A tantárgy részletes tematikája magyarul és angolul: 

Mikrotechnológia, nanotechnológia és molekuláris nanotechnológia definíciója, összehasonlítása, egymáshoz való viszonya. A technológi a feltételei.
Mikro- és nanofizika. Vékonyrétegek leválasztására alkalmas módszerek: fizikai rétegleválasztási módszerek (vákuumpár ologtatás, lézerablációs párologtatás, molekulasugaras epitaxiás rétegnövesztés, porlasztás), kémiai rétegleválasztási módszerek (kémiai gőzfázisú leválasztás). Adalékolás (diffúzió, ionimplantáció). Litográfia (foto, röntgensugaras, elektronsugaras, ionsugaras).
Rétegeltávolítási technológiák: nedves "kémiai" marás, száraz marás (plazma, ionsugaras). Rétegminősítési eljárások: röntgend iffrakció,
transzmissziós elektronmikroszkópia, pásztázó elektronmikroszkópia, szekunder ion tömegspektrometria, röntgen fotoelektron -spektroszkópia, Auger elektronspektroszkópia, pásztázó alagútmikroszkópia, atomerő mikroszkópia.
Hagyományos elektronikai eszközök: bipoláris tranzisztor, térvezérlésű tranzisztor. Vastagréteg technológia: szitanyomtatás, beégetés, vastagréteg paszták.
Nanométeres eszközök: egy elektronnal működő eszközök, rezonáns alagúteffektuson alapuló eszközök, mikro-elektromechanikai rendszerek, szenzorok, képérzékelők, kijelzők. Molekuláris nanotechnológia.

Követelmények szorgalmi időszakban: 
1 ZH
Pótlási lehetőségek: 
1 pót ZH
Konzultációs lehetőségek: 
Szükség esetén a hallgatókkal történő megegyezés alapján.
Jegyzet, tankönyv, felhasználható irodalom: 
Mojzes I.: Mikroelektronika és elektronikai technológia. Műszaki Könyvkiadó, 1995.
C.Y.Chang and S.M.Sze (Ed.): VLSI Techjnology, McGrew Hill, 1996.
R. Waser (Ed.): Nanoelectronics and ionformation technology, Wiley-VCH, 2003.
A tárgy elvégzéséhez átlagosan szükséges tanulmányi munka mennyisége órákban (a teljes szemeszterre számítva)
Kontakt óra: 
28
Félévközi felkészülés órákra: 
14
Felkészülés zárthelyire: 
10
Zárthelyik megírása: 
0
Házi feladat elkészítése: 
0
Kijelölt írásos tananyag elsajátítása (beszámoló): 
0
Egyéb elfoglaltság: 
0
Vizsgafelkészülés: 
0
Összesen: 
52
Ellenőrző adat: 
60
A tárgy tematikáját kidolgozta
Név: 
Dr. Kiss Gábor
Beosztás: 
egyetemi docens
Munkahely (tanszék, kutatóintézet, stb.): 
Atomfizika Tanszék
A tanszékvezető neve: 
Dr. Richter Péter
A tantárgy adatlapja PDF-ben: