Bevezető óra: félvezetőfizika alapok felelevenítése és/vagy félvezető gyártástechnológiai alapok, napelemipari sajátotsságok.
C-V (kapacitás-feszültség) mérés. Félvezető határfelületek, átmenetek (félv.-fém, félv.-szigetelő(low-K, high-K), félv.-félv.), átmenetek sztatikus és dinamikus viselkedése változó előfeszítésnél, dópolási koncentráció mélységfüggésének meghatározása, határfelületi hibák mennyiségi meghatározása (interfész állapotsűrűség), dinamikus viselkedés (mély kiürülés - deep depletion), a mérés alkalmazási területei (CCD,CMOS), mérés gyakorlati megvalósítása, alternatív módszerek.
Mélynívó spektroszkópia DLTS: Szennyezők/kristály hibák állapotai, állapotok befogási és emissziós folyamatai, a mérés gyakor lati megvalósítása
(kapacitástranziens, lock-in módszer), hőmérséklet és frekvenciaspektrum, Arrhenius plot, tipikus szennyezők, állapotok.
Kisebbségi töltéshordozó élettartam mérése: A kisebbségi élettartam definíciója, generációs/rekombinációs élettartam, rekombinációs mechanizmusok, SRH rekombináció, diffúziós egyenlet, tömbi/felületi rekombináció, mérési módszerek (fotovezetőképesség, kontaktusos és érintésmentes módszerek, SPV), az élettartam szerepe a félvezető és a napelemiparban, konkrét példák.
Optikai módszerek: Fény-anyag kölcsönhatás alapjai. Elektromágneses spektrum, polarizáció az anyagban, optikai függvények és kapcsolatuk. Mérhető mennyiségek optikai úton. Optikai méréstechnikák, ellipszometria alapjai, adatok analízise, félvezető és napelemipari alkalmazások.