A tárgy célja a modern mikro- és nanotechnológiai anyagmegmunkálás és analitikai technikák megismertetése.

Mikrotechnológia, nanotechnológia és molekuláris nanotechnológia definíciója, összehasonlítása, egymáshoz való viszonya. A technológia feltételei.
Mikro- és nanofizika. Vékonyrétegek leválasztására alkalmas módszerek: fizikai rétegleválasztási módszerek (vákuumpárologtatás, lézerablációs párologtatás, molekulasugaras epitaxiás rétegnövesztés, porlasztás), kémiai rétegleválasztási módszerek (kémiai gőzfázisú leválasztás).
Adalékolás (diffúzió, ionimplantáció). Litográfia (foto-, röntgensugaras, elektronsugaras, ionsugaras).
Rétegeltávolítási technológiák: nedves (kémiai) marás, száraz (plazma, ionsugaras) marás. Rétegminősítési eljárások: röntgendiffrakció, transzmissziós elektronmikroszkópia, pásztázó elektronmikroszkópia, szekunder ion tömegspektrometria, röntgen fotoelektron-spektroszkópia, Auger elektronspektroszkópia, pásztázó alagútmikroszkópia, atomerő mikroszkópia.
Hagyományos elektronikai eszközök: bipoláris tranzisztor, térvezérlésű tranzisztor. Vastagréteg technológia: szitanyomtatás, beégetés, vastagréteg paszták.
Nanométeres eszközök: egy elektronnal működő eszközök, rezonáns alagúteffektuson alapuló eszközök, mikro-elektromechanikai rendszerek, szenzorok, képérzékelők, kijelzők. Molekuláris nanotechnológia.

This course introduces novel micro and nanoscale material processing and analysis techniques to students.

Definition of microtechnology, nanotechnology and molecular nanotechnology, their comparison and inter-relation. Technological conditions. Micro- and nanophysics. Thin layer deposition methods: physical (vacu-um evaporation, laser ablation evaporation, molecular beam epitaxy, sputtering).
Doping (diffusion, ion implantation). Lithography (photo, X-ray, electron beam, ion beam).
Layer removing technologies: wet (chemical) etching, dry (plasma, ion beam) etching.
Layer characterisation methods: X-ray diffraction, transmission electron microscopy, scanning electron microscopy, secondary ion mass spectrometry, X-ray photoelectron spectroscopy, Auger electron microsco-py, scanning tunneling microscopy, atomic force microscopy.
Conventional electronic devices: bipolar transistor, field effect transistor.
Thick layer technology: screen printing, burning, thick layer pastes.
Nanometer devices: single electron devices, resonant tunnel effect devices, micro-electromechanical systems, sensors, image detectors, displays.