Az aktuátorok kulcsszerepet játszanak számos ipari és technológiai területen, mivel különféle gerjesztéseket (hő, elektromosság, fény) képesek mechanikai mozgássá alakítani. Ezek az eszközök elengedhetetlenek a precíziós műszerek, a mikroelektromechanikai rendszerek (MEMS), a robotika és az orvostechnika fejlődésében, ahol pontos és gyors mozgatás szükséges. Mikroszinten azonban egyszerre nagy amplitúdójú, gyors és hatékony mozgatást megvalósítani különösen nagy kihívás, mivel a jelenlegi technológiák korlátokba ütköznek.

A szakdolgozat célja egy, a VO₂ hőmérsékletfüggő fázisátalakulását kihasználó mikroméretű aktuátor kifejlesztése, amely a fenti korlátokat igyekszik kezeli. A VO₂ fém-szigetelő átmenete körülbelül 68 ^oC-on következik be, amelynek hatására az anyag térfogata körülbelül 1%-os változáson megy keresztül. Ez a jelenség felhasználható mechanikai mozgás létrehozására egy vanádium-dioxid (VO₂) és króm (Cr) alapú bimetál létrehozásával.

A mikroaktuátorok előállítása során a hallgatónak különféle nanofabrikációs techológiával (elektronsugaras litográfia, vékonyréteg leválasztás, reaktív ionmarás, stb.) kell megismerkednie és elsajátítania őket, miközben kidolgozza a gyártás folyamatát és optimalizálja azok paramétereit. Sikeres megvalósítása esetén az eszközök működését tanulmányozza optikai és elektronsugaras mikroszkópok segítségével és teszteli az aktuátorok elektromos úton történő vezérlését. A munka a HUN-REN EK MFA Nanoérzékelők Lanoratóriumának tisztatereiben történik.